大尺寸電子級矽單晶爐關鍵技術及其應用

來源:科技處  時間:2019-09-10  點擊數:

主要完成人劉丁、周旗鋼、趙躍、焦尚彬、任海鵬、楊潤

項目簡介:

該項目在國家重點支持下,針對極大規模集成電路用矽單晶生長中關鍵變量的檢測與處理、雜質含量與微缺陷抑製、生長工藝與控製方法、整機優化設計與製造等核心技術問題,曆經10 年研究,研製成功我國首台極大規模集成電路用300mm 矽單晶爐並形成係列產品,打破了國外產品的壟斷和技術封鎖,整體性能達到國際先進水平,在非對稱CUSP 磁場設計與裝置、激光液位檢測方法與裝置等方麵處於國際領先水平。

本項目獲授權發明專利13 項,實用新型專利11 項,申請美國發明專利2項(公示期),製定我國首部單晶爐技術標準,從理論創新、技術發明到裝備製造,取得了完整的技術成果並實現產業化。核心技術和係列產品已在相關行業推廣使用並出口美國、韓國等企業,新增產值24.64 億元,新增利潤4.65 億元,取得了顯著的社會、經濟效益。

2012年,該成果獲得國家科技發明二等獎。

    



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